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光学镜片的镀膜技术是整个光学系统的一个重要组成部分，良好的镀卐膜技术能改善镜片的折射率、阿贝数、散射、衍射和化学性能。光学薄膜真空镀膜技术一般采用物理气相Ψ 沉积（PVD）技术，包括⊙热蒸发、溅射、离子镀等方法。而在镀膜前的光学镜片一○般须经过离心力清洗机和超声波清洗机清洗，但若想要得到超洁净的基■体表面，则需进一步的采用等离子体清洗◣，不仅能去除表面经离心力清洗和超声波清洗后的有机残留物，还能对于后道镀膜技术起到积极作用。